返回第80章 浸入式光刻机(2 / 2)大国芯首页

他皱起眉头,问孙毅道:“难道就没有别的办法吗?我们也可以自己出钱,支持光刻机的研发。”

显然吴铭并不希望这样被动地等待下去,他更希望能主动参与进去,提高中国的光刻机水平。

孙毅苦笑连连道:“我的好兄弟,你又不是不知道,华芯现在是小胳膊小腿,这种情况我们真的是无能为力。

光刻机研发是个烧钱大户,没有国家队进场,一般人还真就吃不住。

我们现在就是将所有的身家都投进去,也填不满光刻机研发这个无底洞。”

吴铭不甘道:“可也不能这样眼睁睁地看着,总要做点什么。”

孙毅听到吴铭这么一说,也觉得坐等下去也不是个事,哪怕是实力不够,怎么说也得博上一把。

若是不博,岂不是彻底没了希望。

这时他灵光一闪,想到如今的分步光刻机用的还是干式光刻机,而不是后世问世之前流行的浸入式光刻机。

而干式光刻机与浸入式光刻机工作原理大致相似,两者不同的是干式光刻机的透镜和硅片之间的空隙填充的是空气,而浸入式光刻机的透镜和硅片之间的空气填充的是液体。

目前因为干式光刻机还没有到达它的上限,再加上国外目前虽然对浸入式光刻机技术有过研究,但目前使用的浸入液是环辛烷之类的液体。

导致人们因为对浸入液的充入、镜头的沾污、光刻胶的稳定性和气泡的伤害等关键问题缺乏了解,国外的相关实验室因此并未对浸入式光刻展开深入的研究。

他完全可以趁机从这方面着手,在已有的干式光刻机的基础上探索浸入式光刻机技术,从而实现弯道超车。

于是他立马有了主意,对吴铭道:“是要做点什么,您老看这样如何?

虽然研发上我们没有那么多钱,但我们可以先找一些这方面的人才进行预研。

等过几年我们有了资本,能够支撑起光刻机的研发,我们再回头搞光刻机的研发工作,到时候预研正好能直接为我们节省下大量的时间。”

吴铭一听孙毅要预研,惊喜地问他道:“你准备与中科院光电所合作?”

孙毅却是摇了摇头道:“不,我们自己干。”

想到浸入式光刻机的未来的广阔前景,他决定先要把相关专利掌握在自己手中,再决定选择和谁合作。

哪怕到时候国内光刻机技术还是无法赶上,他也能凭借掌握的浸入式光刻机专利,在国际上纵横捭阖,得到他想要的光刻机设备。

吴铭不知道孙毅的私心,却在担忧其它方面。

他皱着眉头,忧心忡忡地问孙毅道:“你总不能到45所,中科院光电所去挖人吧!

咱们可不能因为挖人,把这两家给得罪了,日后我们在光刻机上还要指望他们帮忙的。”