返回68. 从接触式光刻机到投影式光刻机。(四千)(2 / 2)四合院:坏了,我成许大茂了!首页

李安笑着说道,象棋这个东西绝大部分人都知道一点儿,它如今的普及率比围棋高得多了。

“领导,沈教授到了。”

两局结束,林秘书来到客厅说了一句。

“老沈,看看谁来了?”

徐领导站起身笑着说道。

“我说你怎么今天突然要请我吃饭呢,猜到了一点儿。”

“沈教授好。”

李安站起身主动打招呼。

“好得很啊!”

“大茂,之前你提出来的想法非常不错,我们实验室已经做出了一个初级的单晶硅炉,带可控制的加热环。”

“就在上个周,我们已经能够拉出来接近两英寸的单晶硅棒了!”

沈教授笑着说道,就因为这事儿,他还得到了高度表扬。

“相信经过不停的实验完善数据,以后我们的单晶硅棒尺寸会越来越大。”

沈教授接着说道,能够拉出接近两英寸的单晶硅棒,已经是一个巨大的跨越了,之所以无法提拉出更大尺寸的,主要是因为没有更多的实验数据来进行完善和提升。

不过这些都是可以通过不停的实验和数据的积累,最后成果也会越来越丰富的。

相信要不了多久,他们实验室能够拉出来的单晶硅棒的尺寸,就能够领先全球的物理实验室!

“沈教授,这东西的尺寸是越大越好吗?”

李安揣着答案问问题。

“当然是越大越好了,你也懂集成电路的知识,单个晶元的尺寸越大,那么能够刻画的电路图也就越多,能实现的功能也就越多。”

“也就代表着越先进。”

沈教授点点头,但这只是第一步。

制作半导体集成电路的成本太大,主要是因为良率的问题。

如今的晶片电路刻画的良率,仅仅只有十分之一,可想而知一块晶片集成电路需要的成本有多大了。

而单个晶片的尺寸越大,在另外一个方面也能够缩减半导体集成电路芯片的成本。

“沈讲授,其实我还有一个想法,不知道行不行得通。”

李安笑着说道,既然他之前所提供的单晶硅炉的蓝图已经初步实现了,那也就说明他可以不用管这一步的发展了。

那么接下来也就能够提出下一步环节的改进了。

那就是光刻机。

“瞧瞧,老徐,这就是人才啊!”

沈教授脸上都笑开花来。

“想要进步,就需要各种各样的想法,没有想法,怎么去突破,是不是?只要能够有进步的想法,都是好想法!”

沈教授笑着说道,期待的看着李安。

从单晶硅炉上,他就已经尝到了李安这天马行空的想法所带来的好处。

“之前您给我的一些资料里头,包括了那个什么光刻机。”

“其实我对这东西挺熟悉的,因为它和电影儿的放映机有些差不多。”

李安不紧不慢的说道。

第一代的光刻机,需要工作人员在光掩膜上手动刻出线路图,然后直接盖在覆盖着光刻胶的晶元上,利用曝光的原理使得线路保留在晶元上。

不过这样就导致了一个问题,直接覆盖在晶元上的光掩膜,用几次也就不能用了,这样的成本太大。

而且对晶元的纯度也会受到影响,这是导致生产出来的集成电路良率不高的原因之一,而且成本巨大。

但第二代投影式光刻机,就解决了这个问题。

“放电影也是将胶卷上的一个一个画面,通过一块透过光的孔,将胶带上的画面投放在幕布上。”

“我那些电影儿的胶带,无论我用了多少次,都还和新的一样嘞。”

李安笑着说道,双手不停的比划着放映机的工作内容。

“您想啊,我这电影儿胶带是没有和孔接触的,中间有一段空间。”

“那如果我们在光掩膜和晶元中间加上一个透镜呢,这样不就不需要把光掩膜放在晶元上了么?”

“而且我又联想到,电影儿放映机的原理是把胶带上的内容给放大投在幕布上。”

“那能不能翻过来,就像把放大镜设计成一个相反效果的透镜,把原本在光掩膜上很大的电路图形,通过透镜等比例的缩小了之后,再投射图案到晶元上。”

“一个透镜可能会有像差,那如果两个透镜一起呢……”

“那这样的话,同样尺寸的晶片上,不就能刻画更多的集成电路了么?”

李安耐心的给沈教授解释着中间的细节,甚至还用笔在纸上将其中的细节给画了出来。

这就是投影式光刻机的蓝图,实际上初代投影式光刻机并不复杂,它利用反射投影的方式,利用两片同轴球面反射镜,将光掩膜上的图形经过三次反射。

最后投射在硅片上,这样不仅将接触式改成了投影式,同时两个球面反射镜很大程度消除了单个透镜所产生的像差,从而达到光刻所需要的分辨率。

而投影式光刻机的出现,也就标志着芯片正式进入了微米时代。

“透镜……双重透镜……减小像差。”

沈讲授看着李安手中这个本子上写写画画的内容,以他的专业程度,很轻松就能看懂这些图画和文字所表达出来的意思。

而且李安也是在有意识的将自己所画的东西尽可能的往投影式光刻机上面去表达。

以沈教授的学问相信很轻松就能看得懂。

当然了如果这都看不明白的话,李安甚至可以给他画出初代投影式光刻机的所有构造。

但那样对于沈教授来说就有点儿太惊世骇俗了,自己的身份也会引起很大的怀疑。

所以如今这个程度就刚刚好,技能让沈教授看懂这中间的关键性技术难题,同时也能最大程度的掩盖自己的学识渊博这个真相。

因为他的身份是电影放映员,这些原理要说他懂,也是可以接受的。

“我现在就要回实验室去。”

沈教授在李安讲完之后,顿时心情澎湃。

他拿着李安递过去的图纸,站起身就要走。