第209章 偷师学艺,零件拼凑
时间一晃,又一个月过去。
关于光刻机的研究,依旧没有什么进展,这让陈锋备受打击。
为了寻找新的研究思路,陈锋决定暗访台积电,全球最先进的光刻机制造商之一,去学习他们的工艺技术。
希望能够从中得到一些启示,找到一纳米光刻机的制造思路。
陈锋来到了台积电的工厂,他假扮成一名实习生,深入到生产车间,仔细观察光刻机的生产过程。
陈锋注意到,台积电的光刻机在刻蚀芯片时,采用的是一种叫做“极紫外光”的光源。这种光源的波长非常短,只有十三纳米,因此可以将芯片的制程推进到五纳米。陈锋开始思考,如果能够找到一种更短波长的光源,是否就可以将芯片的制程推进到一纳米呢?
在工厂参观的过程中,陈锋还发现了一个关键的技术细节:台积电的光刻机在刻蚀芯片时,采用了一种特殊的涂覆技术,可以使得光源的波长更加集中,从而提高刻蚀的精度。这给了陈锋很大的启发,他开始思考,是否可以通过改进涂覆技术,来提高光刻机的刻蚀精度。
带着这些启示,陈锋回到了水木大学。他开始查阅大量资料,寻找关于极紫外光和涂覆技术的研究。他发现,极紫外光的波长范围是十到一百纳米,而他所需要的一纳米光刻机,需要的光源波长应该在十纳米以下。然而,目前我国还无法制造出这么短波长的光源。
陈锋并没有因此放弃,他开始研究各种光源,希望能够找到一种可以替代极紫外光的光源。
经过一段时间的努力,他终于发现了一种叫做“软X光”的光源。这种光源的波长在十纳米左右,虽然比极紫外光略长一些,但是已经非常接近了。
而且,软X光的强度比极紫外光要强得多,可以更好地刻蚀芯片。
陈锋开始设计一纳米光刻机,他将软X光作为光源,设计出一台全新的光刻机。经过多次试验,陈锋发现,他的光刻机可以将芯片制程推进到一纳米。这让他非常激动,这意味着他的研究取得了重大突破。
虽然研究取得了重大的突破,但距离研究完成还有一段路要走,起码一纳米光刻机的理论图纸还未绘制出来。
所以,在获得了一纳米光刻机的攻克思路后,陈锋立马来到他的“秘密研究基地”。
“秘密研究基地”里,陈锋立即开始着手绘画、设计和完善一纳米光刻机制造的理论图纸。他深知,这是一项艰巨的任务,需要将他在台积电学到的知识和自己的研究成果结合起来,设计出一台完全符合一纳米制程要求的光刻机。
首先,陈锋在图纸上详细绘制了光刻机的整体结构,包括光源、光学系统、控制系统、机械结构和电气系统等部分。在绘制的过程中,他不断回顾在台积电参观时的所见所闻,努力将那些先进的技术和设计理念融入到自己的图纸中。
接下来,陈锋开始对光刻机的各个部分进行详细设计。他首先对光源部分进行了深入研究,分析了软X光作为光源的可行性。通过计算和模拟,他得出了软X光光源的波长、强度和聚焦性能等参数,证实了软X光光源可以满足一纳米光刻机的刻蚀要求。
然后,陈锋开始设计光学系统。他参考了台积电光刻机的光学系统设计,结合自己的研究,设计了一套全新的光学系统。这套系统采用了先进的透镜和光栅技术,可以将软X光聚焦到芯片表面,实现高精度的刻蚀。
在控制系统方面,陈锋设计了一套智能化控制系统,可以通过计算机控制光刻机的各个部分,实现自动化生产。这套控制系统还具有自我诊断和故障排除功能,可以提高光刻机的稳定性和可靠性。
此外,陈锋还对机械结构和电气系统进行了设计。他采用了先进的材料和制造工艺,确保光刻机的机械结构具有足够的稳定性和强度。在电气系统方面,他采用了高效、可靠的电气元件,确保光刻机能够正常工作。
在完成理论图纸的设计后,陈锋对图纸进行了反复检查和修改,确保每个部分都符合设计要求。他还邀请了实验室的同事和专家对图纸进行评审,听取他们的意见和建议,进一步完善图纸。
经过数月的努力,陈锋终于完成了一纳米光刻机制造的理论图纸。他感到非常兴奋,因为这标志着他的研究取得了重要的进展。接下来,他将开始进行实际制造和试验,验证图纸的可行性和光刻机的性能。
……
然而,接下来的实际制造过程却远比他想象的要困难得多。
一纳米光刻机的重要部件是极紫外光源,这是整个光刻机的心脏,决定着光刻的效果。然而,这个部件的制造难度极大,需要极高精度的零件组装而成。陈锋在国内找遍了所有的供应商,都没有找到能满足要求的零件。
无奈之下,陈锋只能选择自己购买零散件,然后进行拼凑。这个过程充满了困难,但他没有放弃。他先是找到了一家专门生产高精度光学零件的厂家,购买了一些基本的光学零件。然后,他通过互联网找到了一些国外的二手零件供应商,购买了一些国外的先进零件。
这些零件的到达时间并不一致,陈锋需要等待每一个零件的到达,然后再进行下一步的操作。这个过程耗时极长,但陈锋没有丝毫的怨言。他明白,这是通往成功的必经之路。
在所有的零件都到达之后,陈锋开始了组装工作。他先是进行了光学系统的组装,这是整个光刻机的重要部分。他小心翼翼地安装每一个零件,调整每一个参数,确保光学系统的稳定性和精度。
然后,他进行了机械系统的组装。这部分的工作更加繁琐,需要极高的精度和耐心。陈锋反复调试,不断改进,终于成功地将机械系统组装完成。
最后,他进行了电气系统的组装。这是整个光刻机的控制中心,决定着光刻机的运行效率和稳定性。陈锋精益求精,不断优化电气系统的设计,最终成功地将电气系统组装完成。
当所有的部分都组装完成后,陈锋进行了一系列的测试,结果非常的“感人”。
依靠零散件组装出来的光刻机,能否正常运行全靠运气。
时灵时不灵。
为此,陈锋只好将这个用二手货拼出出来的小型光刻机重新拆了,逐一检查各个组成部件。
然而让陈锋惊讶的是,各个部件单个运行完全没问题,但是将它们组装到一起后就不行了,能不能运行全看运气。
“怎么会这样呢”
看着眼前的“小型光刻机”,陈锋陷入了沉思。
“到底是哪个环节,哪个部件出了问题?为什么单个的是否,每个部件都能正常运行,把它们组装在一起后就不行了呢.”
陈锋又重新检查了一遍“小型光刻机”,然而还是没能发现什么问题,检查结果显示,“小型光刻机”各零部件正常,各系统也正常,完全是一部正常的光刻机。