经过分析后,众人也是明白了过来,高压汞灯经过这次调整后,光强度明显出现了问题因为光强度不够,直接导致光刻胶溶解不充分,在蚀刻这道工序上,直接变报废了大半块晶圆。
而少数幸运存活下来的芯片,其蚀刻质量也很有问题,即使是能通电正常运作,要么就是存储容量不达标,要么就是读写速度不达标,总而言之问题很大。
“这还是闪存芯片,要是真的做处理器芯片,恐怕问题会很大。”江超郁闷地不行,明明模拟的各项指标数据都没什么问题,实际上在光源的模拟上,整个团队也是下了大功夫,当初在计算中时还特地拿出来讲过,不过在模拟上却没发现光强度存在什么问题。
究竟是因为什么,才导致最终的成品和预想的差距特别大呢?
总结了上次失败的原因后,这次调整了高压汞灯的电压,提高了大约20的阻尼和能量输出,再延长了数十秒的曝光时间,以力求一次性让改进后的光刻机通过验收。
“没关系的,失败也很正常。”王向中笑了笑,说道。
尽管此刻他表面上十分冷静,但内心却还是不免有所担忧流片的成本是很贵的,一方面是长期的时间跨度,另一方面是材料费用昂贵。
一张硅片,最起码要在各道工序之间来回流转至少半个月,才能最终拿出成品。
这已经算是快了,要知道完整的流片工艺,半个月的时间根本不够用,芯片的流片从材料准备开始,到最终封装结束,需要足足至少三个月的时间。
而且李东已经给足了面子,答应给研究小组免费提供实验材料,但要是再失败下去,即使是王向中,也不好意思再免费索取第三次实验材料了。
而这一次的晶圆已经送入了光刻机,即将完成最后一道工序,大家也都很期待这次的结果,所以皆是站在在光刻机前,等待最后的判决下发。
“晶圆出来了。”有人喊了一声。
众人皆是探头看去,果不其然,一张晶圆被透明盒子包裹着,从光刻机内被送了出来。
王向中走上前,将盒子拿起。在净室钠灯的照耀下,晶圆显得整体青黑,还散发着点点五彩斑斓之色。
“这次看起来还不错。”他笑道,“大家不要太担心了,一切都会顺利的。”
晶圆表面用肉眼是看不出什么东西来的,只有先使用光电显微镜对晶圆整体进行观察,粗略看看工艺瑕疵后,接着送往封装线上进行划片通电测试后,才能得出具体的结论。
“陈工,晶圆就拜托您了。”王向中将手中装有晶圆的盒子递给身旁一位中年男子。
“放心,我只要看两眼就知道这次结果了,”陈工笑道。他作为是厂里的晶圆测试工程师倒是对这些事情没什么反应,反倒还觉得这样玩挺有意思的,毕竟净室内的工作非常枯燥无聊,一般闲杂人等是不会进来这种地方的。
一下子净室里多了这么多人,这也是他从业多年来从未见过的奇景。
不少研究人员目送着陈工拿着晶圆离去,心中也是再度祈祷:希望这一次能成!